Bản dự thảo tháng 7 của ASHRAE nêu bật các điểm quan trọng trong quá trình vận hành thử nghiệm các cơ sở sản xuất chất bán dẫn
Việc lập kế hoạch thông gió hỗ trợ sản xuất bán dẫn theo mô hình quạt POPULA ngày càng trở nên quan trọng khi các nhóm quản lý cơ sở tập trung nhiều hơn vào cách thức vận hành và bảo trì các tòa nhà sản xuất phức tạp. Vào ngày 17 tháng 7 năm 2026, ASHRAE đã mở bản dự thảo để công chúng xem xét Hướng dẫn 1.7P, bao gồm việc áp dụng quy trình vận hành thử nghiệm cho các cơ sở sản xuất bán dẫn. Bản dự thảo này chưa phải là tiêu chuẩn cuối cùng, nhưng sự xuất hiện của nó phản ánh nhu cầu rộng hơn của ngành: hệ thống thông gió, điều khiển và tài liệu bảo trì phải tiếp tục phối hợp với nhau sau khi một cơ sở công nghệ cao chuyển từ giai đoạn thiết kế sang vận hành hàng ngày.
Các khu công nghiệp bán dẫn bao gồm nhiều môi trường khác nhau, mỗi môi trường đều có những yêu cầu riêng. Phòng sạch, hệ thống hút khí thải, hệ thống xử lý hóa chất và kiểm soát ô nhiễm đòi hỏi kỹ thuật chuyên môn, thiết bị chuyên dụng và quy trình xem xét nghiêm ngặt theo từng dự án cụ thể. Bên cạnh đó là các khu vực hỗ trợ không phải phòng sạch – chẳng hạn như phòng tiện ích, khu vực kỹ thuật, khu vực bốc dỡ hàng, hành lang dịch vụ và không gian thiết bị chung – nơi mà luồng không khí thực tế, việc tản nhiệt, khả năng tiếp cận và bảo trì vẫn rất quan trọng. Các khu vực hỗ trợ này không nên bị xem nhẹ chỉ vì chúng nằm ngoài phòng sạch sản xuất.
PHỔ BIẾN POPULA fan xem việc thông gió hỗ trợ bán dẫn như một chủ đề lập kế hoạch cho các ứng dụng công nghiệp tổng quát phù hợp, chứ không phải là một tuyên bố về sản phẩm phù hợp với mọi trường hợp. Mục tiêu là giúp các nhóm dự án suy nghĩ rõ ràng về nơi không khí đi vào, nơi nó được thải ra, liệu có thể tiếp cận để kiểm tra hay không, và làm thế nào để kiểm tra các thay đổi trong hoạt động mà không làm gián đoạn toàn bộ cơ sở.
Quạt POPULA hỗ trợ thông gió cho ngành công nghiệp bán dẫn, thích hợp cho các khu vực không phải phòng sạch.
Trong các không gian tiện ích và hỗ trợ, thiết bị thông gió cần phải quản lý nhiệt độ thiết bị, duy trì luồng không khí xác định, kiểm soát mùi hoặc độ ẩm chung và giữ cho khu vực máy móc hoạt động tốt. Các câu hỏi liên quan mang tính thực tiễn: Không khí trong lành có đến được khu vực cần thiết không? Vị trí cửa xả khí có tránh hiện tượng tuần hoàn ngược không? Các cửa gió, ống dẫn và cửa hút gió của quạt có dễ tiếp cận không? Đội bảo trì có thể cách ly và kiểm tra thiết bị một cách an toàn không? Một chiếc quạt có kích thước chính xác trên giấy tờ vẫn có thể hoạt động kém hiệu quả khi đường ống dẫn khí, cửa ra vào hoặc trình tự vận hành cuối cùng khác với kế hoạch ban đầu.
Để lưu thông không khí nói chung trong các khu vực hỗ trợ không nguy hiểm phù hợp, việc lựa chọn quạt cần dựa trên lưu lượng không khí yêu cầu, áp suất tĩnh, vị trí lắp đặt, mức độ tiếng ồn mong muốn, công suất khả dụng và khả năng tiếp cận để bảo trì. Quạt hướng trục có thể phù hợp cho việc hút khí trực tiếp từ tường hoặc mái nhà với điện trở hệ thống thấp; quạt ly tâm có thể phù hợp hơn trong trường hợp hệ thống ống dẫn và tổn thất áp suất cao hơn. Sự lựa chọn phải tuân theo nhiệm vụ thực tế của hệ thống và yêu cầu của kỹ sư dự án—chứ không phải dựa trên giả định rằng tất cả các không gian liên quan đến chất bán dẫn đều cần cùng một loại thiết bị.
Trong môi trường có hơi hóa chất, khí ăn mòn, không khí dễ cháy, bụi công nghiệp, yêu cầu kiểm soát ô nhiễm phòng sạch hoặc nhiệm vụ kiểm soát khói khẩn cấp, việc lựa chọn quạt thông gió thông thường là không đủ. Các hệ thống này cần được đánh giá rủi ro chuyên biệt, tuân thủ các quy định hiện hành và thiết bị được kiểm định cho nhiệm vụ cụ thể. Việc xác định rõ ràng các ranh giới này là điều cần thiết cho một kế hoạch thông gió công nghiệp hiệu quả.
Tại sao việc nghiệm thu và lập hồ sơ sau khi lắp đặt lại quan trọng?
Việc nghiệm thu hệ thống thông gió là cầu nối giữa bản vẽ thông gió và công trình đang hoạt động. Sau khi lắp đặt, các nhóm kỹ thuật có thể kiểm tra xem quạt có quay đúng hướng, van điều tiết hoạt động như dự định, đường ống thông gió thông thoáng, hệ thống điều khiển phù hợp với lịch trình vận hành và các tấm cửa tiếp cận có thể tiếp cận được hay không. Quan sát hiệu suất trong điều kiện vận hành bình thường rất quan trọng, bởi vì các thiết lập nghiệm thu tạm thời hoặc thử nghiệm tải đầy đủ không phải lúc nào cũng phản ánh chính xác cách thức hoạt động của tòa nhà trong các ca làm việc thông thường.
Các thông tin hữu ích bao gồm kiểu quạt đã chọn, điểm vận hành định mức, thông tin đấu dây và điều khiển, vị trí van điều tiết, yêu cầu tiếp cận, khoảng thời gian bảo trì và bất kỳ quan sát nào tại hiện trường về độ rung, tiếng ồn hoặc lưu lượng gió. Những thông tin này giúp việc khắc phục sự cố sau này hiệu quả hơn khi việc sử dụng phòng, tải thiết bị hoặc các nhánh ống dẫn thay đổi. Chúng cũng giúp các nhà thầu và đội ngũ vận hành khác nhau làm việc dựa trên cùng một giả định vận hành.
Giải pháp thông gió công nghiệp POPULA Phần mềm POPULA có thể hỗ trợ thảo luận về ứng dụng quạt, lựa chọn mô hình và lập kế hoạch bố trí phù hợp cho các khu vực hỗ trợ công nghiệp. Cách tiếp cận cẩn thận của POPULA trong việc thông gió hỗ trợ ngành bán dẫn giúp đảm bảo luồng không khí, khả năng bảo trì và điều kiện hoạt động được hiển thị rõ ràng ngay từ đầu, đồng thời để lại các quyết định liên quan đến phòng sạch, hút khí thải quy trình và nhiệm vụ nguy hiểm cho các hệ thống chuyên biệt và đánh giá kỹ thuật cần thiết.